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磊晶用途
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以液相磊晶法成長砷化鎵磊晶層之特性研究
在本研究中,將詳細說明液相磊晶系統及實驗過程。另外,亦在成功在晶向(100),半絕緣砷化鎵基板上成長高品質的p型、n型以及超微量摻雜稀土元素鈥之砷化鎵磊晶層。
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