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磊晶用途
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法規內容-半導體製造業空氣污染管制及排放標準
... 業:指從事積體電路晶圓製造、晶圓封裝、磊晶、光罩製造、導線架製造等作業者。 ... 之各種用途之晶圓生產成為半導體產品之作業,包括經由切割成片狀的晶粒( Dice) ...
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