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磊晶用途
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化合物半導體之分子束磊晶技術 - 儀科中心
本文介紹三五族化合物半導體分子束磊晶系統的裝置設備,包括真空系統、分子束. 源、基板操控器與即時量測設備。 ... 其用途僅是提供一個溫控迴授所需的相對溫度訊.
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