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磊晶用途
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〈觀察〉第三代半導體材料崛起放量生產關鍵在上游材料端 - 鉅亨
GaN on Si 製程是要將氮化鎵磊晶長在矽晶圓基板上,但兩者晶格不匹配,製程中容易產生翹曲,基板矽晶圓也需要特別製造。 碳化矽則受限於製造碳化矽晶圓的 ...
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