磊晶 層的厚度測量可以用紅外光反射,磨角和染色,做一錐狀溝,一般厚度大約在 0.5 ~ 150 pm ... SiCl2 + HCl ( 4 ) SiCl2 + H2 Si + 2HCl ( 5 )工業上以 SiCl 用途最廣。
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