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LED磊晶之金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)設備技術

透過LED 磊晶設備技術發展趨勢說明，可以了解台灣LED產業結構、關鍵材料、專利分佈、MOCVD設備原理。 本課程介紹ALD設備沉積原理與其在OLED封裝製程上之應用，透過ALD ...

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