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磊晶原理
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LED磊晶之金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)設備技術
本課程介紹ALD設備沉積原理與其在OLED封裝製程上之應用,透過ALD設備技術的了解,可以使學員瞭解OLED阻水阻氣關鍵製程之應用。
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