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CN1459618A - 测量磊晶层厚度的方法

依据这些原理，红外线照射于晶片上并且自磊晶层的表面与磊晶层与晶片交接面反射。欲测量晶片上一处磊晶层的厚度，即将红外线入射光束至该处的一小区域。

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