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Chapter 4 晶圓製造和磊晶成長 - Scribd

教學目標• 說明為何矽比其他半導體材料更被普遍及採用的兩個理由• 列出單晶矽所偏愛的兩種晶向• 列出從砂形成矽的基本步驟• 敘述CZ 法和懸浮帶區法• 解釋矽磊晶層沉積 ...

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