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磊晶原理
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PVD / CVD薄膜沈積(Thin Film Deposition)www.tool-tool.com
相較於晶圓基板,磊晶成長的半導體薄膜的優點主要有:可以在沈積過程中直接摻雜施體 ... 這種利用電漿獨特的雕子轟擊,以動量轉換的原理,在氣相中(Gas Phase)製備沈積 ...
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