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MOCVD反應腔之即時監測技術 - 機械工業網

摘要：矽基氮化鎵發光二極體（LED）的磊晶製程是在高溫真空密閉腔體內進行，常見製程 ... MOCVD），如圖1所示，其原理是將晶圓放置於載盤上作為基板，在真空低壓下通入 ...

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