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化合物半導體磊晶市場剖析- 產業.科技 - 中國時報
若以量產速率分析MOCVD和MBE磊晶設備的優缺點,MOCVD為氣相方式導入反應腔體,其速度較MBE快1.5倍(MBE需時間加熱形成分子束);但以磊晶品質來說,由於 ...
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