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磁 控 濺鍍 優 缺點
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几种溅射镀膜技术的优缺点比较-泽天传感
射频溅射的优点:既可溅射金属靶材,也可镀绝缘体的介质靶材。 三、非平衡磁控溅射 如果通过磁控溅射阴极的内、外两个磁极端面的磁通量不相等, ...
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