否发生化学变化,可分为普通溅射和反应溅射。磁控溅射法采用的靶材有铟锡合金靶(IT 靶)和 In2O3 -SnO 2 陶瓷靶(ITO 靶),两种靶材都有其优缺点。对于 IT 靶材, ...
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