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旋转圆柱磁控溅射阴极设计和磁场强度分析计算 - 真空技术网

通过调节磁铁的高度、宽度、磁铁间夹角以及孪生靶间距和靶中心轴旋转角度等参数对磁场分布进行了优化，优化后的圆柱磁控溅射阴极的表面切线方向磁场强度 ...

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