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光學元件清碳技術的發展 - 國家同步輻射研究中心

[4]，但放電的方式卻有機會因電極發生濺射作用，反而 ... 除碳汙染技術，再將其實際應用於軟X 光光束線的光柵 ... 為確認清碳效果，在清碳前後使用AXUV100G 光. 二極體 ...

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