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超高真空離子束沈積碳/矽/碳多層奈米複合薄膜藉由熱退火機制 ...

當碳與矽膜產生反應，而使的碳化矽(SiC)顆粒的析出，因為碳的原子大小遠小於矽的原子大小(碳原子半徑：0.077 nm；矽原子半徑：0.117 nm)，就活化能障 ...

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