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碳化矽材料於功率元件之應用

摘. 要. 碳化矽(Silicon Carbide; SiC)材料被視為未來將取代Silicon材料在高功率或高溫環境中應用的. 材料。近十多年來，由於SiC磊晶與基板品質的提升，降低了研究SiC ...

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