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化合物半導體設備發展推動計畫 - 中華民國經濟部

然生產碳化矽晶圓所需之超高溫長晶設備皆仰賴國外大廠，國內廠商雖已具備4 ... 都偏低，除長晶設備，國內在晶圓加工、元件製作等製程設備都還存在技術 ...

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