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碳化矽長晶 技術
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碳化矽晶體合成技術及產業化合作... - 國家中山科學研究院
項次1. 智慧財產權名稱. 坩堝裝罝. 權利類別. 專利權. 權利技術簡介(摘要). 一種坩堝,用於使一晶種藉由一材料源以長晶,該坩堝包括一成長室、一固持 ...
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