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單晶碳化矽在微電子及微感測元件之應用

本文就近年來全球對基於單晶碳化矽所開發之微製造技術. 加以介紹，其包括長晶、氧化、摻雜、金屬接點及蝕刻等技術；另外並介紹由單晶碳化矽所.

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