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晶圓製程

最常見的是矽晶圓，另有氮化鎵晶圓、碳化矽晶圓等；一般晶圓產量多為單晶矽圓 ... 長晶> 切片> 邊緣研磨> 研磨與蝕刻> 退火> 拋光> 洗淨> 檢驗> 包裝.

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