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碳化矽長晶製程
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中國廠商8吋碳化矽晶體出爐台廠急起直追拚長晶
產業人士分析,碳化矽基板製造關鍵難度在於長晶,高硬度、高脆性、低斷裂韌性的碳化矽晶圓,製造技術門檻高,包括對氣流、高溫製程等控制,其中長晶爐 ...
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