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碳化矽長晶製程
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化合物半導體與車用電子,能否成為臺灣的新機會? - 科技魅癮
以SiC 來舉例,製作基板的方式有物理氣相傳輸法、高溫化學氣相沉積法等。前者又稱為昇華法,是目前主流技術,做法是將碳化矽粉體倒入長晶爐,讓其在高溫 ...
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