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碳化矽長晶爐設備
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第三代半導體的展望與迷思 - DigiTimes
近年來第三代半導體SiC 及GaN,也就是所謂的寬能隙(wide bandgap) ... 室內充滿著各式古董級SiC長晶爐的設備,這些都是多少代努力所累積心血的結晶。
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