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碳化硅晶体生长炉

一、设备结构. 二、设备概述. 碳化硅晶体生长炉主要用于物理气相传输法（PVT）生长大尺寸、高质量SiC 单晶。 三、技术优势. 1、采用双线圈设计，基于多物理场仿真 ...

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