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產經情報- AOIEA 自動光學檢測設備聯盟

以碳化矽PVT 長晶法來說，在石墨坩鍋的黑盒子中無法即時觀察晶體生長狀況。其中，包含SiC 單晶晶種、石墨坩堝及高純度SiC 原料皆無法重覆使用，須破壞 ...

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