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碳化矽長晶爐設備
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https://www.tiri.narl.org.tw/Files/Doc/Publication/InstTdy/132/01320040.pdf
單晶碳化矽在微電子及微感測元件之應用
將反應爐加溫至大約2300 °C,使. 得碳化矽粉末昇華並依照晶種的晶格方向結晶於晶. 種上。長晶的速率隨反應爐的溫度、壓力、溫度梯. 度及碳化矽粉末和晶種的距離(13) 而 ...
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