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CTIMES- 碳化矽元件的市場發展關鍵：晶圓製造

以台灣磊拓科技所代理的設備為例，旗下代理的PVA TePla品牌的SiCube單晶長晶爐，能夠提供HTCVD和HTCVT這兩種長晶法，其工作溫度皆需2600°C ，而工作壓力則 ...

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