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物理氣相傳輸法碳化矽單晶生長數值模擬

The Simulation of SiC Single Crystal Growth by PVT Method ... 本文以CZ法和Kristall-3M長晶爐等生長單晶的晶體設備，經過實驗後可自行成功生長出蘭克賽單晶晶體。

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