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碳化矽長晶爐設備
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中山大學關鍵突破成功生長6吋導電型碳化矽晶體 - 臺灣導報
周明奇又說,包括生長晶體的長晶爐、存放材料的容器坩堝、熱場設計、生長參數及晶體缺陷檢驗等項目,所有關鍵技術與設備設計、組裝,全部都是MIT,不倚賴 ...
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