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碳化矽長晶爐設備
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6吋晶體生長關鍵突破! 中山大學助攻MIT產業升級
國立中山大學晶體研究中心創全國學研單位之先,成功生長6吋導電型(n-type)4H碳化矽單晶,在長晶爐設備、坩堝(存放材料容器)、熱場設計、長晶 ...
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