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我國碳化矽(SiC)基板製造設備發展動態 - IEK產業情報網

臺灣目前在碳化矽(SiC)基板生產仍然少量，部份加工設備與藍寶石基板相似可以沿用，但是最關鍵的長晶爐，由於需要廠商自行設計、改良，但是高電壓電流 ...

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