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中山大學6吋碳化矽單晶突破將技轉關鍵技術設備MIT - 永豐金證券

第三代半導體材料碳化矽(SiC) 晶體被視為重要戰略物資， ... 周明奇表示，包括生長晶體的長晶爐、存放材料的容器坩堝、熱場設計、生長參數及晶體缺陷 ...

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