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TWI516648B - 使用多片晶種來生長碳化矽單晶之製造裝置

正因為碳化矽具有許多優良的材料特性，因此國外從20幾年前便開始對單晶碳化矽的長晶技術及元件製程進行開發。國外的碳化矽產業供應鏈從最上游端的單晶材料到元件製程與 ...

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