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應用材料公司新技術助力一流碳化矽晶片製造商加速升級至200 ...

但SiC材料的密度和硬度同時也會面臨以下極大的製程挑戰：摻質的注入、準確置放和啟動，以及最大限度減少對晶格的破壞，以避免降低效能和功率效率。應用 ...

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