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碳化矽晶圓複合加工技術

但其. 材料堅硬(達莫氏硬度9.25~9.5)加工耗時成為產能上之瓶頸，導致成本居高不下。本研究以大氣電. 漿改質軟化輔助拋光之技術，結合化學機械拋光製程，整合開發創新碳化矽 ...

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