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HHRI／讓缺陷無所遁形– 碳化矽元件的缺陷檢測技術 - 思想坦克

碳化矽 元件的主要生產成本來自基板與後續的磊晶製程，從基板到磊晶的過程中有一道製程是buffer layer，它是控制缺陷密度的重要關鍵。透過非破壞性的檢測 ...

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