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碳化矽製程
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應用材料公司新技術助力一流碳化矽晶片製造商
但SiC 材料的密度和硬度同時也會面臨. 以下極大的製程挑戰:摻質的注入、準確置放和啟動,以及最大限度減少對晶格的破壞,以避免. 降低效能和功率效率。應用材料公司150 ...
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