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以液相磊晶法製備單晶碳化矽的製程開發及生長機制的研究

有鑑於工業界缺乏可用的SiC 單晶基材，本研究欲首次使用液相生長法，加快SiC 磊晶的生長速度及降低其晶格的缺陷密度，製備SiC 單晶。液相的原子距離接近固體， ...

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