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碳化矽製程
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第3類半導體晶片怎麼做?基板難在哪?圖解生產流程 - 數位時代
要生產出碳化矽(SiC)單晶(monocrystal或single crystal)基板,須從長晶(生長碳化矽單晶)做起,作法是將碳化矽粉體倒入長晶爐,在高溫且密閉的空間使 ...
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「碳化矽製程」
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