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SiC晶圓製造究竟難在哪？ - 電子工程專輯

SiC 具有1 × 1共價鍵的矽和碳化合物，其莫氏硬度為13，僅次於鑽石(15)和碳化硼(14)。最早是人們在太陽系剛誕生的46億年前的隕石中，發現了少量這種物質， ...

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