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單晶碳化矽在微電子及微感測元件之應用

其方法為於Lely. 法中使用碳化矽晶種來控制碳化矽晶格的成長。如. 圖2(b) 所示，於圓柱形的石墨反應爐內，將欲昇. 華的碳化矽粉末 ...

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