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第三代半導體——碳化矽材料之製程與分析 - 電子工程專輯

圖2：SiC前段應用產業鏈與關鍵標竿廠商關聯圖。 ... 雖然此法不需高純度SiC粉末為原料，而是直接使用氣體當作SiC的來源，但是此方法牽涉到許多動力學 ...

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