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6吋碳化矽單晶長晶爐熱場模擬分析研究

碳化矽 之應用極為廣泛，主要用於高溫、高功率、高頻等半導體元件上，其. 中4H-及6H-SiC 在半導體領域中較常被使用。碳化矽與傳統基板在性質上之比. 較，不論在導熱性、能隙 ...

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