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TWI498281B - 碳化矽粉的製造方法

近年，碳化矽粉作為矽、水晶、SiC、GaAs、GaN等的單晶以及多結晶的基板或者玻璃、陶瓷等的切斷、研磨(grinding)、拋光(polishing)，進一步作為SiC成形體的原料而被大量應用 ...

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