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回收碳化矽之創新應用Innovative Application of Recycling ...

此SiC/Y-ZrO2 複合陶瓷基板可做為被動元件之高溫燒結承載基板，增加耐用性與產品品. 質。本實驗利用回收碳化矽粉末進行自體研磨以降低粉末粒徑與銳角，造粒成功後將回收碳.

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