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碳化矽晶圓複合加工技術

以. 碳化矽等為代表的第三代半導體材料，將被廣泛應. 用於光電子元件、電力電子元件等領域，以其優異. 的半導體性能在各個現代工業領域都將發揮重要. 革新作用，應用前景和 ...

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