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碳化矽特性
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單晶碳化矽 - 政府研究資訊系統GRB
關鍵字:碳化矽(SiC)厚膜石墨盤;發光二極體磊晶製程;熱壁式化學氣相沉積法;有機金屬化學氣相沈積法. 2. 微波化學氣相沉積碳化矽在圖案化矽基板之成長機制與特性研究.
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