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碳化矽特性
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低溫沉積之奈米晶碳化矽薄膜及應用於高溫UV光檢測器之研製(I)
碳化矽 的研究,均集中於其發光特性的分析,. 較少將其應用於光檢測器。 在計劃,將針對於熱絲化學氣相沉積系統. 中,製備具有良好電導與光電特性奈米晶碳化.
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